应用背景

PECVD依靠射频感应产生的等离子体,实现薄膜沉积工艺的低温化,从而节省能源、降低成本、提高产能、减少了高温导致的硅片中少子寿命衰减,可应用于PERC、TOPCON、HJT等多种电池片的工艺中,PECVD设备正被广泛应用于太阳能光伏行业。

由于工艺要求的不断提升,传统视觉方式很难满足一些特殊的检测要求。我们在对太阳能电池进行清洗制绒后, 依赖Gocator 3D线激光轮廓传感器对硅片进行检测,实现硅片搭边、重叠、异物以及平面度的检测。

项目挑战

● 高反光和漫反射材质,相机动态范围要求高

● 尺寸大

● 速度要求,对传感器的扫描速率要求高

● 需要检出完全重叠的硅片

现有方案及结果

选择6台大视野 Gocator 2450覆盖硅片扫描范围,针对缺陷及破损等,基于采集的2D灰度图和3D点云图使用内置算法,判定OK或者NG。针对叠片和异物等,基于采集的2D灰度图和3D点云图定位硅片位置,统计硅片位置ROI内平面度,根据平面度判断硅片是否存在重叠和异物,能够判定硅片是否100%完全重叠。

Gocator 3D检测方案实现组网和自动标定, 单片或多片拼图输出完整点云图,布线简便及简洁,无需编码器分频。检测方案具备高稳定性,助力实现硅片载板检测。

向智能化迈进,运用LMI Technologies 3D视觉帮助客户的工业生产线更加高效、准确地检测,及时发现产品存在的缺陷和问题,提高产品质量和生产效率,最终达到降本增效!

 

作者 admin